在光刻膠制造中,光引發(fā)劑、顏料等固體顆粒的分散均勻性直接影響成膜質量和光固化效率。凱密泰克(Chemi Tech)開發(fā)的專用分散劑通過獨特的分子結構設計,有效降低顆粒表面能,防止團聚現象。其作用機制包括:
錨固基團吸附:分散劑中的極性基團緊密包覆顆粒表面,形成空間位阻層,減少顆粒間范德華力。
溶劑化鏈延伸:在樹脂體系中展開的長鏈結構維持分散穩(wěn)定性,尤其在高速攪拌和長期儲存中抑制沉降。
某半導體光刻膠企業(yè)采用凱密泰克分散劑處理納米級光引發(fā)劑(粒徑≤200 nm)。結果顯示:
分散后顆粒粒徑分布標準差下降至±15 nm(原為±50 nm);
光固化效率提升30%,因顆粒均勻分布增強了紫外光吸收一致性;
光刻線條邊緣粗糙度(LER)降低至5 nm以下,滿足DUV光刻精度需求。
兼容性強:適用于丙烯酸酯、環(huán)氧樹脂等主流光刻膠體系;
低添加量:僅需0.5~2 wt%即可實現長效分散;
耐溫性:在光刻膠烘烤工序(80~120℃)中保持性能穩(wěn)定。
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